擴散爐石英管清洗

    石英片生產(chan) 廠家為(wei) 您介紹了備用石英管清洗

　　1.清洗石英管的整個(ge) 過程應嚴(yan) 格按照擴散工序相關(guan) 工藝安全標準進行。

　　2.清洗槽內(nei) 如果存有以前用過的氫氟酸溶液，溶液不髒的情況下可以再往裏麵加10瓶氫氟酸（由生產(chan) 人員調配）；如果原有的氫氟酸溶液很髒，則應全部排空並洗淨槽體(ti) ，然後通知生產(chan) 人員配液；如果槽內(nei) 無以往剩下的氫氟酸溶液，洗淨槽體(ti) 後請生產(chan) 人員配液。

　　3.清洗人員必須佩戴好防護眼鏡和防酸手套，然後將備用石英管放入石英管清洗機靠近裏麵的槽內(nei) ，管口朝向製絨間，管尾指向擴散爐所在方向。拉下防護門，將酸槽清洗時間設定為(wei) 30min，按下控製麵板中"酸槽啟動"按鈕。

　　4.酸槽清洗時間的設定：

　　新的石英管隻需清洗30min左右。如果是用過的石英管，應以將管內(nei) 壁上沾附的白色五氧化二磷全部脫落的時間為(wei) 準。清洗用過的管子，有的要1到2天時間。在酸槽未啟動的情況下，應每隔2個(ge) 小時將石英管旋轉180°。

　　5.清洗人員戴好防護眼鏡和手套，將石英管從(cong) 酸槽取出，輕放入水槽。將水槽內(nei) 的水排空後用水槍衝(chong) 洗石英管內(nei) 外壁約5分鍾。衝(chong) 洗石英管內(nei) 壁時不要按下"水槽啟動"按鈕，如果已經按下了應再按下"水槽結束"按鈕。然後把水槍拉到石英管管口，從(cong) 管口向管尾方向衝(chong) 洗管內(nei) 壁。衝(chong) 洗時應仔細認真，不要有殘留未衝(chong) 到的區域。2分鍾後，將石英管旋轉180°，再用同樣方式衝(chong) 洗2分鍾。

　　6.將純水注入水槽，水位以能沒過石英管尾部的中間通氣管為(wei) 準。拉下防護門，然後將水槽清洗時間設定為(wei) 30min，按下"水槽啟動"按鈕。

　　7.重複第6步，再清洗一遍。

　　8.水槽結束後，將水槽內(nei) 的水排空。然後，參照上麵第5步的方法用水槍衝(chong) 洗石英管內(nei) /外壁。重點衝(chong) 洗內(nei) 壁。約5min後用水槍衝(chong) 洗管尾的四個(ge) 小通氣管，重點同樣是管內(nei) 壁。衝(chong) 洗2分鍾後再繼續從(cong) 管口方向衝(chong) 洗。此步清洗時間應不少於(yu) 15min，以管內(nei) 外壁無顆粒狀磷化物殘留為(wei) 清洗幹淨的標誌。

　　9.清洗好後將石英管放到淨化間的指定位置，下麵墊上專(zhuan) 用的泡沫。

　　10.將管口和尾管用專(zhuan) 用鋁箔密封。