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石英晶體(ti) 的化學性能穩定，不受強酸的腐蝕，在一般情況下不溶解於(yu) 水，不產(chan) 生潮解，但石英晶體(ti) 在氫氟酸和水玻璃中能夠溶解，因此，在加工過程中我們(men) 常用氫氟酸（HF）作石英晶體(ti) 的腐蝕劑，其化學反應式如下：
(1) Si02+6HF=SiF4+2H20+2HF=H2SiF6+2H20
(2) Si02+4HF=SiF4+2H20 3SiF4+3H20=H2Si02+2H2SiF6
上述的溶解特性對石英也是各向異性的，沿光軸方向的溶解速度比沿垂直光軸方向要快100倍；電軸方向慢，而且電軸的負端比正端腐蝕速度還要慢。
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